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|  제목: 적외선 레이저 검사장비 「OLS 3000 IR」 |
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글쓴이: 관리자 조회: 3545 |
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고배율/고분해능으로 적외선 현미경 관찰 가능
고(高) 콘트라스트의 선명한 상으로 IC 거리 값 및 단차 측정
전자부품의 소형화·박형화로 인해 패키징 제품 관찰 필요성이 하루가 다르게 증대되고 있다. IC 사이즈의 축소는 이를 검사하는 장비의 성능 향상을 요구하고 있다. 하지만 아쉽게도 기존의 적외선 현미경으로는 측정이 불가한 부분이 있다. 가장 큰 문제점으로 다음과 같은 세 가지를 꼽을 수 있다.
첫째, 프로세스 개발에 있어 gap 거리 측정이 불가능하고 내구·내열시험의 결과가 안 나온다.
둘째, 품질관리에 있어 접합부의 상태가 확인불가, 패턴 면의 확인불가 등, 내부 상태를 정확하게 확인할 수 없다.
셋째, 불량해석에 있어 비파괴로 해석이 불가능하다.
적외선 레이저 현미경(Confocal Laser Scanning IR Microscope)인 「OLS 3000 IR」은 기존 검사장비의 이러한 문제점들을 해결한다. 기존의 적외선 현미경은 그림 1과 같이 해상도가 좋지 않고 계측이 불가능했던 단점이 있었다.
그러나 적외선 레이저 현미경을 사용하면 고(高) 콘트라스트의 선명한 상과 함께 IC의 거리 값이나 단차를 신속하게 측정할 수 있다.
기능 및 특징
Confocal Laser Scanning IR Microscope의 가장 큰 특징은 고배율/고분해능으로 적외선 현미경 관찰이 가능하다는 것이다. 아울러 XYZ의 미소형상계측 또한 가능하다. 그 밖의 특징은 다음과 같다.
(1) 압도적인 고 콘트라스트로의 관찰
(2) 실리콘 막 300μm에서의 100×대물 관찰가능
(3) 모니터 상에서 약 14400배
(4) 칩 상의 불량이물이나 흠집 등 평면에 있어서 고정밀의 계측가능
(5) 칩 gap 등 단차계측 가능
Application
Confocal Laser Scanning IR Microscope의 애플리케이션은 보다 정밀한 관찰을 요구하는 전자분야에 적합하다. 독자의 이해를 쉽게하기 위해 사진으로 설명한다.
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2026. 03. 10. 전체글: 15 방문수: 62100 |
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